اندازه گیری تنش پسماند در نانوساختارهای نیکل-سیلیسیوم

thesis
abstract

با توجه به کاربرد روز افزون لایه های نازک در قطعات الکترونیکی و محصولات فناوری های مدرن، آشنایی بیشتر با خواص لایه های نازک ضروری به نظر می رسد. از آنجا که خواص لایه های نازک به ساختار ریز آنها وابستگی شدید دارد، بنابراین بررسی میکروساختار و نانوساختار این گونه لایه ها با کیفیت بهتر خواهد شد. ازجمله خواص میکروساختاری لایه های نازک درجه تبلور، جهت گیری ترجیهی، اندازه دانه ها، میزان تنش و کرنش ایجاد شده در این لایه ها می باشد. در این پایان نامه توجه زیادی به تنش ایجاد شده در لایه های نازک که یکی از مهمترین خواص میکروساختاری آنها می باشد معطوف شده است و به محاسبه تنش پسماند و اندازه-گیری آن به روش تجربی با استفاده از دستگاه پراش اشعه ایکس (xrd) پرداخته شده است. در این تحقیق از لایه نازک نیکل با ضخامت تقریبی 12 تا 20 نانومتر لایه نشانی شده بر روی سیلیسیوم نوع استفاده شده است. همچنین تنش پسماند در لایه های نازک فوق-الذکر بر اساس معادلات استونی و قانون براگ محاسبه گردیده که نتایج بدست آمده مطابقت بسیار خوبی بین داده های تجربی و نظری را نشان می دهد.

First 15 pages

Signup for downloading 15 first pages

Already have an account?login

similar resources

ارزیابی توانایی روش التراسونیک در اندازه گیری تنش پسماند طولی جوشکاری در راستای ضخامت

یکی از توانایی‌های روش التراسونیک که در مقایسه با سایر روش‌های اندازه‌گیری تنش پسماند، کمتر به آن پرداخته شده است، قابلیت اندازه‌گیری تنش پسماند در اعماق قطعه است. علت این قابلیت، توانایی نفوذ امواج التراسونیک در اعماق مختلف قطعه، بنا به فرکانس ارسالی آن‌ها می‌باشد. ‌در این پژوهش، به بررسی قابلیت روش التراسونیک در اندازه‌گیری تنش پسماند طولی جوش‌کاری در عمق قطعه پرداخته شده است. بدین منظور، از ...

full text

اندازه گیری نمای فراوانی فسفر کشت شده فراسطحی در سیلیسیوم

مطالعه ای را برای به دست آوردن نمای فراوانی فسفر(مقدار فسفر بر حسب عمق از سطح) فراسطحی و به منظور تکمیل مطالعات مشابه درمورد بر(b) شروع کرده ایم. کشت فراسطحی فسفر و بر, از نظر مطالعه, طراحی و ساخت تراشه های الکترونیک با چگالی زیاد اهمیت فراوان دارند. در این مقاله, گزارشی از چگونگی اندازه گیری نمای فراوانی فسفر با استفاده از ترکیب طیف نگاری جرمی, زمان پرواز یون ثانویه (tof-sims) و تجزیه فرایند ه...

full text

اندازه گیری ولتامتری استامینوفن با استفاده از الکترود خمیر کربن اصلاح شده با نانوساختارهای مرتبه‌ای‌ کبالت

در این تحقیق، نانوساختارهای مرتبه‌ای کبالت به عنوان اصلاحگر برای تعیین استامینوفن بکار گرفته شدند. این نانوساختارها با استفاده از یک روش کاهش شیمیایی ساده بدست آمده و سپس توسط روشهای میکروسکوپ الکترونی روبشی و ولتامتری چرخه‌ای مشخصه‌یابی شدند. الکترود خمیر کربن اصلاح شده با نانوساختارهای کبالت یک فعالیت الکتروکاتالیتیکی خوب و حساسیت مناسب را برای اکسایش استامینوفن نشان داد. این نتایج بواسطه‌ی خ...

full text

اندازه گیری نیکل در عضله ماهی سوکلا (Rachycentron Canadum) در آب های شمال غربی خلیج فارس

این تحقیق به منظور سنجش و مقایسه میزان تجمع فلز نیکل در بافت عضله ماهی سوکلا (Rachycentron Canadum) و ارتباط آن با طول کل، وزن کل و سن ماهی در آب های شمال غربی خلیج فارس در سال 1393 انجام شد. 96 نمونه ماهی در 6 گروه طولی تهیه شد. هضم شیمیایی نمونه ها به روش مرطوب و سنجش غلظت فلزات سنگین به روش جذب اتمی با دستگاه مدل Perkin Elmer 4100 انجام گردید. اختلاف بین میانگین‌ها با کمک آزمون آماری آنالیز ...

full text

اندازه گیری تنش‌های پسماند در تکنیک جوشکاری اصطکاکی به روش سوراخکاری مرکزی

جوشکاری اصطکاکی اغتشاشی یک جوشکاری حالت‌جامد محسوب می‌شود که امروزه کاربرد گسترده‌ای به‌خصوص در جوشکاری‌های غیر هم‌جنس پیداکرده است، مخصوصاً آلیاژهای آلومینیوم سری 7000 که قابلیت جوشکاری ذوبی را ندارند. این روش نه‌تنها محدودیت‌های جوشکاری ذوبی را ندارد بلکه به دلیل عدم ذوب قطعات امکان اتصال فلزات با نقطه ذوب متفاوت را نیز دارا می‌باشد. در این تحقیق به روش تجربی مطالعه تنش پسماند ناشی از جوشکاری ...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


document type: thesis

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه اراک - دانشکده علوم پایه

Keywords

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023